基于Silvaco Atlas的SOI器件性能仿真研究

摘要：本文主要针对SOI器件结构展开研究,对于SOIMOS器件的结果和特性进行分析,讨论,并利用SILVACO TCAD软件来对SOI的器件结构与性能进行仿真,与研究分析结果进行比对,可以看出SOI器件能够有效改善MOS器件的阈值和亚阈值特性。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社