摘要：为满足现代微电路生产工艺线工艺水平评价需要，在对三类典型皮尔逊分布的中心矩与原点矩进行分析研究的基础上，推导了针对该分布的拟合表达式，得到了相应分布类型的参数，并给出分布拟合算法。并且对实际微电路工艺的应用结果表明，拟合结果令人满意。

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