摘要：采用MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃与Al2O3复合烧结,制备了MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2/Al2O3基LTCC复合材料。借助DTA、XRD、SEM和电性能测试手段,系统研究了玻璃/Al2O3比例和烧结温度对复合材料结构与性能的影响。结果表明,MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃是一种微晶玻璃,析出CaMg(SiO3)2相,但复合材料在析晶过程中与Al2O3发生反应,主要物相是Al2O3、BaAl2SiO8以及玻璃相。提高玻璃粉含量和烧结温度均能够提升致密性,当玻璃含量为质量分数50%~55%时,该复合材料在880~900℃即可烧结致密,具有εr=8. 1~8. 4、tanδ=0. 0010~0. 0013@13 GHz,σ> 300 M Pa等优异的综合性能,满足LTCC滤波器集成化、小型化和高可靠性的制作要求。

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