摘要：利用射频鞘层模型，推出了离子到达被加工材料表面时的动量的表达式．利用表达式分析了离子轰击材料表面的动量与等离子体浓度的关系．理论分析与实验数据有较好的吻合．等离子体浓度的增大对鞘内离子动量起抑制作用：随等离子体浓度（10^15-10^16m^-3）增加，离子动量（10^-22-10^-21kg·m·s^-1）减小．等离子体浓度较小（约〈3×10^15m^-3）时，对离子动量有较显著的影响；随等离子体浓度增大（约〉3×10^15m^-3），其作用越来越平缓。

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