摘要：采用减压抽滤的方法成功制备了Pb(Zr0.5Ti0.5)O3,PbTiO3干凝胶,并用STA449C差热分析仪表征了干凝胶的性能.干凝胶溶解后得到了性能优良的PZT薄膜和PZT/PT复合膜.采用X射线衍射技术表征了两种薄膜的微观结构及成相特征.薄膜的介电性能及漏电流性能由HP4284ALCR及Keithley6517A来确定.试验结果表明:用减压抽滤得到的干凝胶的方法,可以彻底解决溶胶凝胶中先体存放的问题,得到的铁电薄膜有优良的介电与铁电性能.PZT的相对介电常数与介质损耗分别为424,0.033,PT作为中间层的复合膜的相对介电常数和介质损耗分别为261,0.014;PT薄膜可以调整和改进PZT薄膜的性能,使之达到应用于热释电探测器的要求.

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