摘要：针对柔性电极在发生较大形变会发生断裂,导致柔性电子产品失效的问题,提出了全新的柔性电极制备工艺。(1)利用周期性结的可拉伸性制备了一种具有褶皱构的柔性电极,实现了柔性电极在发生形变时仍能保证性能稳定、高可靠性的目标。(2)利用射频磁控溅射工艺制备了具有褶皱结构的柔性电极,实现了制备的柔性电极在30%的形变量时电阻值不会超过1 000Ω。实验结果表明:(1)提出的全新制备工艺制备的柔性电极具有一定的可拉伸性;(2)制备的性能最好的柔性电极褶皱周期超过了2.5μm,在20%形变量时电阻值低于200Ω,并且在50次重复拉伸测试中性能不会失效。

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