首页 期刊 电子器件 CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究 【正文】

CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究

作者:李金儒 陈宝钦 刘明 赵珉 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室 北京100029
数据格式转换   任意多边形   切割法   cif   算法  

摘要:为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法——沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果。

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