首页 期刊 电子科技文摘 半导体微电子技术与纳米技术 【正文】

半导体微电子技术与纳米技术

纳米技术   半导体制造   场效应晶体管   芯片级   发光二极管  

摘要:<正> 0810 半导体物理0530509应力感应迁移空位磁通量模拟=Modeling of vacancyflux due to stress-induced migration[刊,英]/MinoruAoyagi//Journal of Vacuum Science & Technology B.-2003,21(4).—1314-1317(E)

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