摘要：<正> 2010 数理科学与基础理论0532601terahertz 波多层硅衍射光学=Multilevel silicon diffrac-tive optics for terahertz waves[刊,英]/E.D.Walsby,S.Wang//Journl of Vacuum Science & Technology B.—2002,20(6).—2780-2783 (E)

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