摘要：甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动。为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递路径进行了分析,再通过分析隔振理论及橡胶减振器的性能特征,最后为某型甩干机选取合理的橡胶减振器参数;通过实验测试表明其隔振效果达到了预期要求。

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