摘要：微影工艺技术在IC制造中一直扮演着举足轻重的角色,随着IC产品技术需求的提升,微影技术也需不断地提高分辨率以制作更微小的特征尺寸(feature size).

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社