摘要：微加工技术正被人们用来加工满足光通信系统要求的各类器件.在采用自由空间光学原理的器件中,针对交换、滤波和可调式衰减等应用的器件需要能实现较大的直线或角偏移的执行器(Actuator).虽然有人建议采用基于表面微机械加工方法的器件,但对很多应用来说,执行器很难实现足够的直线或角度偏转,特别是当需要避免元件之间的摩擦接触时.

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