摘要：在超导微波电路芯片中，通常存在影响信号传输和控制的杂散信号，利用超导悬空桥连接电路不同接地平面，可有效抑制微波线路中的寄生杂散模式。利用光刻胶作为支撑层，采用直流磁控溅射、反应离子刻蚀（RIE）、深紫外曝光光刻等微加工方法，制备了连接复杂微波电路不同接地平面的悬空桥结构，并给出了制备工艺流程及悬空桥结构的低温超导特性表征。试验结果表明，该悬空桥制备工艺可用于目前比较复杂的超导平面微波电路制备。

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