摘要：0引言集成电路是一种微型的电子器件,采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件集成在一起,制作在半导体晶片或介质基片上,使电子元件向着微型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。由于集成电路的生产工艺复杂度高,一旦供电系统出现问题将会对芯片的生产造成重大影响,带来巨额的经济损失。

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