摘要：随着汽车传感器的迅速发展和MEMS（微机电系统）技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.分析了汽车电气系统中MEMS传感器的可靠性设计研究应用现状及问题,提出了基于阶段主导可靠性因素的MEMS汽车传感器可靠性设计方法;对汽车应用环境下的失效模式、失效机理进行了讨论;并对如何对MEMS传感器系统寿命分布模型进行定量描述做了初步探讨.最后对MEMS汽车传感器可靠性今后的发展研究进行了探讨.

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