摘要：以荫罩刻蚀线的刻蚀腔体内的摇摆电机控制对象为对象，采用了B＆R的PCC和ACOPOS伺服控制器,对同步电机进行运动控制,使摇摆腔体内电机能快速、稳定地跟随设定曲线，并按照设定曲线运动。PCC中PVI使PCC方便地与上位机进行通信；PowerLink使伺服间的通信实时快速；PCC的高级编程语言C使PCC完成传统PLC不能完成的高级应用,如曲线的生成;而虚轴概念的引入更是提高了电机运行的可靠性。

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