摘要：本发明提供了一种制作精细金属掩模板的方法。具体步骤为：（1）在基体表面制备牺牲层；（2）在牺牲层表面制备能够导电的薄膜；（3）在薄膜表面制备光刻胶膜；（4）利用光刻技术在光刻胶膜上刻蚀出图案；（5）采用电镀法实现光刻胶膜上刻蚀图案的图形化；（6）溶解胶膜，露出金属薄膜图案。

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