集成门极换流晶闸管的工艺模拟

摘要：主要介绍利用silvaco软件对集成门集换流晶闸管IGCT（Inregrated Gate Commutated Thyrister）进行工艺模拟。利用siavaco软件中的Athena对IGCT进行建模，并对工艺参数进行提取和优化，从而达到工艺要求。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社