摘要：以平均粒径为50 nm的气化ITO粉体为原料,加入占原料1. 2%的分散剂聚碳酸酯,经球磨、陈腐后再"二次球磨"得到高固含量浆料,而后采用加压注浆成型获得了极高密度坯体。研究了浆料固相含量和粘度的关系,同时研究了浆料固相含量、陈腐时间与坯体密度的关系。将不同密度坯体在较低温度1530℃和空气(欠氧)气氛中进行烧结,研究了坯体密度对靶材密度的影响规律。结果表明,在1 530℃、欠氧气氛烧结条件下,极高密度ITO坯体(相对密度75%)烧结后可得到外观黑色、相对密度为98. 3%的靶材,其密度远高于其他密度更低坯体所烧结的靶材。

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