摘要：利用溶胶一凝胶法制备BiFeO3靶材，通过射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备不同厚度的BiFeO3薄膜，并研究不同厚度对其微观结构、铁电性、漏电流特性及薄膜折射率和消光系数的的影响。结果表明，随着薄膜厚度的增加，铁电性变好，薄膜折射率和消光系数增大，当电压较低时（U^1/2〈2），Poole-Frenkel机制在漏电特性中起主导作用，当电压较高（1／U〈0．25）时，FN隧穿起主导作用；通过拟合图谱计算出不同沉积时间的薄膜厚度及表面层厚度，结果与原子力显微镜测的数值基本一致。

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