摘要：本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况。详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况。系统分析了ITO溅射靶制造技术方面的专利。
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