摘要:CuCl^+离子注入不同晶向的α-Al2O3,晶体中,对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察。结果发现,不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-Al2O3,晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒。说明CuCl^+离子注入α-Al2O3,晶体产生的缺陷损伤在退火过程中,单个分散的带电色心缺陷与CuCl^+离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuCl原子的偏聚,随着退火时间的增加,偏聚程度提高而形成颗粒,并逐渐长大形成亚微米颗粒。颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同。
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