首页 期刊 材料开发与应用 白宝石上生长SiO2薄膜的工艺 【正文】

白宝石上生长SiO2薄膜的工艺

作者:冯丽萍; 徐新 西北工业大学,陕西西安710072
磁控反应溅射   白宝石   二氧化硅薄膜  

摘要:用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯O2为反应气体,在白宝石上制备SiO2薄膜.对影响薄膜生长的工艺参数进行了分析,测试了薄膜的成分,并研究了薄膜的红外光学性能.结果表明,制备的薄膜中Si和O形成SiO2化学键,计算出的O与Si的原子比接近2:1,采用射频磁控反应溅射法在白宝石上能够沉积出SiO2薄膜.制备出的SiO2薄膜对白宝石衬底有较好的增透作用.

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