首页 期刊 材料开发与应用 电沉积法制备ZrO2薄膜的工艺研究 【正文】

电沉积法制备ZrO2薄膜的工艺研究

作者:曹建春; 郭忠诚; 周晓龙; 范莹莹; 李晓林; 张欢 昆明理工大学; 云南; 昆明; 650093
电沉积   氧化锆   薄膜  

摘要:研究了水溶液中电沉积ZrO2薄膜的工艺,系统分析了镀液成分、pH值、电流密度及沉积时间对电沉积ZrO2薄膜的影响规律,并分析了薄膜的厚度、成分和形貌等.研究结果表明,在硝酸锆水溶液中加入一定量的络合剂和添加剂,可以得到与基体结合好、分布均匀的ZrO2薄膜.

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