首页 期刊 材料工程 铝电解电容器用高介电常数复合氧化膜的制备 【正文】

铝电解电容器用高介电常数复合氧化膜的制备

作者:陈金菊; 冯哲圣; 郭洪蕾; 杨邦朝 电子科技大学微电子与固体电子学院; 成都610054
铝电极箔   水解沉积   阳极氧化   高介电常数  

摘要:用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,通过XPS分析Al-Ti复合氧化膜的成分及各元素的相对含量。监测铝电极箔恒电流阳极氧化过程中的升压曲线,对复合氧化膜的介电常数进行理论计算,并测试铝电解电容器的容量及耐久性。结果表明:铝电极箔在含钛无机盐溶液中的最佳处理时间为10min,处理后的铝电极箔阳极氧化速率高于纯铝电极箔,Al-Ti复合氧化膜中的高介电常数相为TiO2。对16V/1000 μF规格的铝电解电容器,形成Al-Ti复合氧化膜的样品,容量提高率为23%,且耐久性良好,复合氧化膜介电常数的理论计算值与实验结果较为一致。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

学术咨询 免费咨询 杂志订阅