摘要：为了研究溶剂对金属薄膜/聚合物基底结构的表界面破坏的影响,利用直流磁控溅射法在PMMA基底上沉积金属钛、铜、铝和镍薄膜,采用无水乙醇、丙酮、三氯甲烷和水四种溶剂接触金属薄膜/基底的表面,用光学显微镜观测薄膜的形貌变化。结果表明:除了水以外,其他溶剂通过薄膜缺陷处渗透到薄膜/基底界面后接触PMMA基底,无水乙醇和丙酮与PMMA基底发生溶胀反应,导致膜基界面断裂,薄膜脱离界面发生屈曲,并发生动态扩展直至稳定;三氯甲烷与PMMA基底发生溶解反应,使得膜基界面断裂,薄膜先脱离界面产生屈曲然后塌陷至界面形成褶皱。薄膜基底结构界面的破坏涉及到溶剂与聚合物基底的物化反应,即能否与基底发生溶胀或者溶解。由此可见,溶剂会对金属膜/聚合物基底结构的完整性产生影响,并且缩短结构的使用寿命。但是可以通过这种方式来制造规则、可控的薄膜屈曲模式。

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