摘要：提出了一种用于热微喷头的感应加热器新结构。进行了相关的结构和工艺设计，在MEMS工艺环境下制作出了可以非接触加热，工艺结构简单，使用寿命长的微感应加热器。使用ANSYS对微感应加热器进行了建模和仿真分析，结果显示：感应加热器的最大加热功率可达到5mw以上，满足设计要求，同时得到了感应加热器的功率影响因素。

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