摘要：制备了基于硅纳米孔柱阵列（Si—NPA）的WO3／Si—NPA复合薄膜，并对其表面形貌进行了表征，研究了其电容湿度传感性能和基点电容的温度漂移。研究表明：WO3／Si—NPA继承了衬底Si-NPA规则的阵列结构的表面形貌特征，WO3的沉积形成了连续的WO3薄膜，WO3／Si—NPA是一种典型的纳米复合薄膜。室温下，WO3／Si—NPA的电容值随测试频率的增加而单调减小，但其灵敏度则在100Hz时达到最大值。在此测试频率下，当环境的相对湿度从11％RH增加到95％RH时，元件的电容增量高达16000％，显示WO3／Si-NPA对环境湿度有较高的灵敏度。同时，电容的湿度响应曲线显示出很好的线性。对其基点电容的温度稳定性研究表明：WO3／Si—NPA用作湿度传感的最佳工作温度区为15-50℃。

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