首页 期刊 传感技术学报 氧化铝陶瓷基无线无源压力传感器的高温性能研究 【正文】

氧化铝陶瓷基无线无源压力传感器的高温性能研究

作者:任重 蔡婷 谭秋林 李晨 郑庭丽 熊继军 中北大学电子测试技术重点实验室 太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室 重庆400044
压力传感器   无线无源   高温   零点温漂   谐振频率  

摘要:利用高温烧结陶瓷技术制备了一种基于氧化铝陶瓷的LC谐振式无线无源压力传感器,并通过合理地设计圆柱螺旋天线以及隔热结构,实现了该传感器在高温环境中的无线耦合测试。研究了传感器在不同温度下的阻抗频率特性,分析并探讨了传感器的高温性能。测试结果表明,在29℃(室温)至700℃的温度范围内,测试天线端的最高瞬时温度为188.4℃,保证了传感器高温测试的可靠性。谐振频率对温度的平均变化量为1.314 kHz/℃,两次重复性测试的相对变化量为3.81%,重复性较好。该压力传感器可应用于高温恶劣环境下的压力测试,其高温性能的研究为压力信号的准确读取奠定了良好的基础。

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