摘要：本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统（TPMS）的传感器芯片的设计与制作．该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器，根据量程需要，硅杯膜的厚度与面积比比较大，所以高应力区向膜外扩展，通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状，提高了传感器的灵敏度．并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域，得到了较好的零点输出．

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