摘要：研究了面向微型燃料电池膜电极的多孔硅薄膜的制备工艺．多孔硅刻蚀工艺高效便宜，与标准CMOS工艺兼容．通过选择不同的衬底掺杂浓度和适当的电解液浓度能控制纳米（或微米）级多孔硅的孔径大小，得到适用于膜电极的纳米级孔径的多孔硅薄膜，证实了纳米级多孔硅可用于硅微燃料电池中膜电极的可能性．
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
热门期刊服务
影响因子：1.4
期刊级别：北大期刊
发行周期：月刊
期刊在线咨询，1-3天快速下单！
查看更多>
超1000杂志，价格优惠，正版保障！
一站式期刊推荐服务，客服一对一跟踪服务！
