摘要：统计表明,在微纳加工领域中,由于热变形引起的误差占总误差的40%~70%。已经成为制约微纳加工发展的主要因素之一。本系统采用基于PLC的增量式数字PID控制方法,实现对微纳加工控制过程中环境温度的高精度控制。利用LabVIEW软件编程灵活的特点,设计控制系统界面,通过RS485接口实现计算机对PLC的实时监控,保存测量数据,实时进行精度分析。经长时稳定试验,本系统可以实现±0.05℃/24 h的控制精度（24 h内温度波动不超过±0.05℃）,满足高精度加工系统的温度控制需求。

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