摘要:绝大多数PVD(物理气相沉积)耐磨涂层的可镀厚度均小于10微米,采用特殊梯度界面设计的PVD耐磨涂层可镀厚度也难以超过50微米,极大地限制了其在重载、长寿命、高可靠性零部件表面的应用。中科院宁波材料所王永欣博士等人通过对真空反应腔室内等离子体能量及状态的设计与调控,
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