摘要：半固着磨具在非晶态Ni-Pd-P合金薄膜铜片衬底精密研磨中的应用 非晶态Ni-Pd-P合金薄膜具有非常好的热传导性和耐磨性，因而被广泛用作防护镀层。铜片由于其良好的导电性能被选为生长非晶态Ni-Pd-P合金薄膜的衬底材料。
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