摘要：本文采用热原子层沉积技术 （T-ALD） 在氟化透明导电玻璃（FTO）上制备不同Al掺杂比例的TiO2（ATO）应用于平面钙钛矿太阳能电池的电子传输层.结果表明, 当Al：TiO2掺杂浓度为1：100时, 器件能达到最高13.13%的效率, 而采用TiO2作为电子传输层的器件, 效率仅为10.43%. 通过荧光光谱（PL）,x-ray 光电子能谱（x-ray photoelectron spectroscopy,XPS）, 薄膜电阻（I-V）等对样品的分析, 我们认为Al掺杂TiO2作为电子传输层有效地降低了薄膜的电阻、 表面缺陷, 最终提高钙钛矿太阳能电池的光电特性.

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