首页 期刊 半导体信息 国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线 【正文】

国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线

作者:黄玉英
晶圆生产   nm   离子注入机   集成电路制造   中芯国际  

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期刊级别:部级期刊

发行周期:双月刊