首页 期刊 半导体信息 可采用磨削加工的5μm薄纸般的硅晶片 【正文】

可采用磨削加工的5μm薄纸般的硅晶片

作者:章从福
硅晶片   研磨加工   基板   精磨   最佳配合  

摘要:<正>据《Nikkel MicroDevices》报导,通透可见对面的翼薄,如纸般可绵软地弯曲—如此薄的硅晶片是通过研磨加工得到的晶圆,它的厚度只有5μm。目前正在进行量产的最薄的硅基板是用于手机的MCP(多芯片封装)的芯片,厚度为75 μm。尚在开发中的薄片的趋势为35μm和50μm水平。而该公司这种5μm的

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