摘要：<正>Rudolph Technologies公开发表了一部可以使用在微影和化学机械研磨工艺(CMP),并且具有 100%在线"巨观缺陷"实时检测功能的自动化系统。透过此机台,厂房人员将可以不再需要采用随机取样检测策略。
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