摘要：<正> 欧洲国际微电子学中心(IMEC)安装了一台型号为SUSS PAV150的测试设备,用以在高真空环境中测试微机电系统(MEMS)器件(特别是RFMEMS)。MEMS在使用情况下,该设备可测试它的可靠性。 RF MEMS器件小,它们靠机械运动来控制RF信号的通、断传输。目前,RF MEMS

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