首页 期刊 半导体光电 X射线平板探测器背板工艺研究进展 【正文】

X射线平板探测器背板工艺研究进展

作者:卜倩倩; 胡伟频; 王丹; 孙晓; 邱云; 姜明宵
平板探测器   背板工艺   性能提升  

摘要:从高像素填充因子、低噪声、高帧频、高空间分辨率及柔性五个方面对近些年X射线平板探测器背板工艺的研究进展进行了综述。通过对研究过程中的材料选择、像素结构和读出电路优化的详细阐述,分析了X射线平板探测器背板工艺的研究现状及改善方向。文章同时从新结构、新材料、电路设计及三维探测设计四个方面给出了X射线平板探测背板技术未来的发展趋势。

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